仪器详情

反应离子刻蚀系统

  • 仪器分类 微纳米加工平台
  • 运行状态
  • 所属单位 厦门大学 > 化学化工学院
  • 生产厂商 Trion Technology公司
  • 购置日期 2016-11-05
  • 使用模式 按时预约
  • 规格 Sirus T2 Plus
  • 放置位置 化学219

使用指南

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FAQ

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