该电镜二次电子像分辨率可达1.3nm (20 kV)，电子源加速电压调整范围为100 V～30 kV，放大倍率范围为12X～1000,000X。内置镜筒内（In-lens）二次电子探测器、样品室二次电子探测器、背散射电子探测器和CCD摄像机等四种类型的探测器，样品台为五轴全自动控制，是一台高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。