仪器介绍
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基本信息
生产厂商
Picosun Oy
资产编号
1508849G
资产负责人
张维
购置日期
2014-05-01
仪器价格
192.9900 万元
仪器产地
芬兰
仪器供应商
购买经办人
主要配件
干泵、冷水机、臭氧发生器
主要参数
仪器介绍
该系统主要应用于在纳米粒子或硅等固相基底表面原子层沉积金属氧化物。沉积的材料包括但不限于Al2O3, TiO2, SiO2。
应用领域
尚未填写
管理规则
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实验规则
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培训指南
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预约要求
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