仪器介绍

基本信息

  • 生产厂商 Picosun Oy
  • 资产编号 1508849G
  • 资产负责人 张维
  • 购置日期2014-05-01
  • 仪器价格192.9900 万元
  • 仪器产地芬兰
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件 干泵、冷水机、臭氧发生器
  • 主要参数

仪器介绍

该系统主要应用于在纳米粒子或硅等固相基底表面原子层沉积金属氧化物。沉积的材料包括但不限于Al2O3, TiO2, SiO2。

应用领域

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管理规则

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实验规则

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培训指南

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预约要求

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