仪器介绍

基本信息

  • 生产厂商 Edwards Vaccuum, Inc.-Temescal
  • 资产编号 20103504
  • 资产负责人 魏赞斌
  • 购置日期2009-07-01
  • 仪器价格232.0000 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数

仪器介绍

设备主要用于金属薄膜的沉积。具有load-locked 系统，因此样品腔和源腔是分离的，换样品时，可保持源腔的真空，有利于节约抽真空的时间和保持源干净。

应用领域

可沉积的金属包括但不限于:
Au, Ag, Cu, Fe, Ni, Rh, Pd, Cr, Ti.  

管理规则

尚未填写

实验规则

尚未填写

培训指南

尚未填写

预约要求

尚未填写