仪器介绍

基本信息

  • 生产厂商 四川南光真空科技有限公司
  • 资产编号 1204010G
  • 资产负责人 张维
  • 购置日期2016-11-12
  • 仪器价格21.2000 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商四川南光
  • 购买经办人
  • 主要配件 显微系统
  • 主要参数

仪器介绍

适用于Φ100mm以下(最小尺寸为Φ5mm)，厚度5mm以下的各种基片(包括非圆形基片)的对准曝光。

应用领域

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管理规则

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实验规则

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培训指南

尚未填写

预约要求

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