仪器介绍

基本信息

  • 生产厂商 中国科学院电子研究所
  • 资产编号 1303009G
  • 资产负责人 张维
  • 购置日期2016-11-03
  • 仪器价格77.0000 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数

仪器介绍

主要技术指标： 可配备到扫描电镜（SEM）、聚焦离子束系统(FIB)、扫描探针显微镜（SPM）上构建成纳米加工设备，进行纳米图形加工和纳米微结构制造。 主要功能： 高速数字信号处理器（DSP）；高精度图形数据采集器；带有温控的16位数模转换器（D/A）；液晶跟踪显示器（LCD）；控制用计算机。

应用领域

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管理规则

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实验规则

尚未填写

培训指南

尚未填写

预约要求

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