温度范围：室温—300℃；温度均匀性：±3%；温度设置精度：±2℃； 加热速率：100℃/min; 降温速率：50℃/min；压印均匀性；±20nm；压力：≤80bar； 压模尺寸及压印区域：?≤152mm； 基底尺寸：? 102mm； 结合最高STU制程温度：200℃；UV波长：200nm-—1000nm；曝光区域：6inch; 热压结合紫外同时曝光技术（STU），中间体软模转压印技术（IPS）