用于表面形貌、表面粗糙度、轮廓等的观测，适用于不透明表面、透明表面、多层透明表面。 综合倍率 28000 倍以下，显示分辨率 0.5 nm，测量用408 nm激光光源 光学系统：针孔共聚焦光学系统 光接收元件：光电倍增器、16 bit 感应 扫描方式 (常规测量时及图像连接时)：自动上下限设置功能 高速光量最佳化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足补充功能(双扫描)