仪器生产商： 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司
资产编号： S2504654
资产负责人： 刘俊扬
购置日期：2025-06-09
仪器价格：115.0000 万元
仪器产地：中国
仪器供应商：
购买经办人：
主要配件：
主要参数：1. 铜蚀刻均匀性≤8% 2. 钛蚀刻均匀性≤8% 3. 铜/钛侧边单边蚀刻<1.2um/side
仪器介绍：兼容8/12寸晶圆工艺可用于 RDL，TSV和 TGV 等孔金属化，bump 等工艺中去除或减薄金属及电镀去胶后将铜层和钛层去除
应用领域：
管理规则：
实验规则：
培训指南：
按时计费：
| 计费名称：常规测试(计时,按时预约)(版本 1) ；计费上下限：0.00 至 100000.00 元 | |||
| 计费时间段 | 类型 | 价格 | 计费方式 |
| 全天 | 开机固定费 | 0.00 元 | 单次收取 |
| 00:00--24:00 | 开机费 | 120.00 元 | 使用时长(小时) |
| 机时补贴费 | 0.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 材料费 | 680.00 元 | 使用时长(小时) | |
| 编号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 编号 | 标题 | 添加时间 |
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