仪器生产商： 上海小阪电子科技有限公司

资产编号： S2500172

资产负责人： 刘俊扬

购置日期：2025-01-14

仪器价格：595.0000 万元

仪器产地：中国

仪器供应商：

购买经办人：

主要配件：

主要参数：

仪器介绍：用于12寸晶圆（兼容8寸&6寸）化学镀镍钯金工艺。（可在同一条线上满足，铜基与铝基两种底材晶圆的化学镀）。 1. 片内均匀性：Ni<10%,Pd<15%,Au<15% 2. 厚度：Ni: 3-10um，Pd: 0.1-1um，Au:0.02-0.6um 3. Ni nodule<2%，Missing plating<2%，Metalover plating<2%；

应用领域：

管理规则：

实验规则：

培训指南：