仪器生产商： Edwards Vaccuum, Inc.-Temescal

资产编号： 20103504

资产负责人： 魏赞斌

购置日期：2009-07-01

仪器价格：232.0000 万元

仪器产地：美国

仪器供应商：

购买经办人：

主要配件：

主要参数：

仪器介绍：设备主要用于金属薄膜的沉积。具有load-locked 系统，因此样品腔和源腔是分离的，换样品时，可保持源腔的真空，有利于节约抽真空的时间和保持源干净。

应用领域：可沉积的金属包括但不限于:
Au, Ag, Cu, Fe, Ni, Rh, Pd, Cr, Ti.  

管理规则：

实验规则：

培训指南：