仪器生产商： 中国科学院电子研究所

资产编号： 1303009G

资产负责人： 张维

购置日期：2016-11-03

仪器价格：77.0000 万元

仪器产地：中国

仪器供应商：

购买经办人：

主要配件：

主要参数：

仪器介绍：主要技术指标： 可配备到扫描电镜（SEM）、聚焦离子束系统(FIB)、扫描探针显微镜（SPM）上构建成纳米加工设备，进行纳米图形加工和纳米微结构制造。 主要功能： 高速数字信号处理器（DSP）；高精度图形数据采集器；带有温控的16位数模转换器（D/A）；液晶跟踪显示器（LCD）；控制用计算机。

应用领域：

管理规则：

实验规则：

培训指南：