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微纳米器件表面氧化及镀膜系统

微纳米器件表面氧化及镀膜系统

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仪器分类:微纳米加工平台

运行状态:

所属机构:厦门大学 > 化学化工学院

生产厂家:青岛华旗

购置日期: 2022-12-29

使用模式:按时预约

规格:HQLPCVD-100A

放置位置:思明校区 > 凌峰电镜楼 > 104

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