仪器生产商： 科磊半导体 KLA Corporation

资产编号： S2400336

资产负责人： 洪文晶

购置日期：2023-01-14

仪器价格：75.8000 万元

仪器产地：美国

仪器供应商：

购买经办人：

主要配件：

主要参数：

仪器介绍：1. 高精度传感器和扫描器：垂直方向动态扫描范围≥300 um; 2. 探针力控制范围:至少包含05-50 mg(闭环反馈)； 3. 单次扫描长度: ≥ 200 mm，无需拼接； 4. 台阶高度重复性: < 0.4 nm （1um台阶，2um探针下实现）； 5. 驱动X-Y-Z马达驱动，20个自动测序点，可根据预设不同样品区域的台阶进行测量；单次扫描可获得1.000.000个数据点； 6. 能满足8吋晶圆大范围高精度测试，样品台：直径 ≥200 mm真空吸附样品卡盘; 电动旋转。

应用领域：

管理规则：

实验规则：

培训指南：