仪器生产商： Hitachi High-Tech Corporation

资产编号： S2401528

资产负责人： 魏赞斌

购置日期：2022-12-14

仪器价格：391.8000 万元

仪器产地：日本

仪器供应商：日立科学仪器有限公司

购买经办人：翟和生

主要配件： 牛津能谱仪、TD/UD/LD二次电子探头、PD-BSED探头、导航相机

主要参数：分辨率：0.6nm@15kV，0.7nm@1kV（减速模式）

仪器介绍：SU8600的主要技术指标 二次电子分辨率 0.6nm@15kV, 0.7nm@1kV(减速模式) 放大倍数 20-2,000,000x（底片倍率） 电子枪 冷场，内加热，柔性flash 加速电压 0.5 – 30 kV 着陆电压 0.01 – 20 kV 探针电流 20nA 探测器 顶探头、上探头、下探头、PDBSE探头； 牛津超大面积电制冷能谱Ultim Max 100

应用领域：

管理规则：

实验规则：

培训指南：