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  4寸单面光刻机

  仪器分类：微纳米加工平台

  运行状态：空闲

  所属机构：厦门大学 > 化学化工学院

  使用模式：按时预约

  规格：H94-25C

  放置位置：化学楼223室

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  电子束蒸发台

  仪器分类：微纳米加工平台

  运行状态：维护中

  所属机构：厦门大学 > 化学化工学院

  使用模式：按时预约

  规格：BJD/FC2000

  放置位置：化学楼220室

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  原子层沉积系统

  仪器分类：微纳米加工平台

  运行状态：空闲

  所属机构：厦门大学 > 化学化工学院

  使用模式：按时预约

  规格：R200 Advanced

  放置位置：化学楼219室

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