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  纳米粒度及ZETA电位分析仪

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  燃料电池测试设备

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  微纳米器件表面氧化及镀膜系统

  管理员：廖洪钢

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  超高精密微立体光刻加工系统

  管理员：侯旭

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  等离子体清洗器

  管理员：张维

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  形状测量激光显微系统

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  纳米压印系统

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  反应离子刻蚀系统

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  三维数码显微系统

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  纳米通用形发生器

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  4寸单面光刻机

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  电子束蒸发台

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  原子层沉积系统

  管理员：张维

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