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  双工位手套箱

  管理员：王静娟

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  纳米粒度及ZETA电位分析仪

  管理员：汪骋

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  燃料电池测试设备

  管理员：王宇成

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  微纳米器件表面氧化及镀膜系统

  管理员：廖洪钢

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  双靶磁控溅射仪

  管理员：侯旭

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  超高精密微立体光刻加工系统

  管理员：侯旭

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  等离子体清洗器

  管理员：张维

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  形状测量激光显微系统

  管理员：张维

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  纳米压印系统

  管理员：张维

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  反应离子刻蚀系统

  管理员：张维

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  三维数码显微系统

  管理员：张维

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  纳米通用形发生器

  管理员：张维

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  4寸单面光刻机

  管理员：张维

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  电子束蒸发台

  管理员：张维

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  原子层沉积系统

  管理员：张维

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