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  燃料电池测试设备

  仪器分类：微纳米加工平台

  运行状态：在线

  所属机构：厦门大学 > 化学化工学院

  使用模式：项目委托

  规格：850

  放置位置：翔安能源材料大楼4339/4345(319)

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  微纳米器件表面氧化及镀膜系统

  仪器分类：微纳米加工平台

  运行状态：在线

  所属机构：厦门大学 > 化学化工学院

  使用模式：按时预约

  规格：HQLPCVD-100A

  放置位置：思明校区 > 凌峰电镜楼 > 104

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  超高精密微立体光刻加工系统

  仪器分类：微纳米加工平台

  运行状态：在线

  所属机构：厦门大学 > 化学化工学院

  使用模式：按时预约

  规格：microArch S230

  放置位置：能源材料大楼2号楼2257-2261

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  等离子体清洗器

  仪器分类：微纳米加工平台

  运行状态：离线

  所属机构：厦门大学 > 化学化工学院

  使用模式：按时预约

  规格：PDC-002-HP

  放置位置：化学219

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  形状测量激光显微系统

  仪器分类：微纳米加工平台

  运行状态：实验中

  所属机构：厦门大学 > 化学化工学院

  使用模式：按时预约

  规格：VK-X250K

  放置位置：化学楼215

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  纳米压印系统

  仪器分类：微纳米加工平台

  运行状态：实验中

  所属机构：厦门大学 > 化学化工学院

  使用模式：按时预约

  规格：Eitre 6

  放置位置：化学219

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  反应离子刻蚀系统

  仪器分类：微纳米加工平台

  运行状态：空闲

  所属机构：厦门大学 > 化学化工学院

  使用模式：按时预约

  规格：Sirus T2 Plus

  放置位置：化学219

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  三维数码显微系统

  仪器分类：微纳米加工平台

  运行状态：空闲

  所属机构：厦门大学 > 化学化工学院

  使用模式：按时预约

  规格：VHX-600E

  放置位置：化学楼219室

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  纳米通用形发生器

  仪器分类：微纳米加工平台

  运行状态：空闲

  所属机构：厦门大学 > 化学化工学院

  使用模式：按时预约

  规格：DY-2000d

  放置位置：化学楼223室

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  4寸单面光刻机

  仪器分类：微纳米加工平台

  运行状态：空闲

  所属机构：厦门大学 > 化学化工学院

  使用模式：按时预约

  规格：H94-25C

  放置位置：化学楼223室

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